設(shè)備：臺(tái)階儀Dektak XT

廠商：美國Bruke

用途：通過該測(cè)試，可以得到探針移動(dòng)路徑上樣品的表面起伏數(shù)據(jù)，從而分析出樣品的表面粗糙度、翹曲程度等信息。

技術(shù)指標(biāo)：

l  掃描長度： 50μm-55mm 

l  垂直測(cè)量范圍： 1mm 

l  臺(tái)階高度重現(xiàn)性5?, 1σ 在1μm臺(tái)階上

l  垂直分辨率：最大1?（6.5μm范圍） 

l  探針曲率半徑：0.2 um ，2um 

樣品臺(tái)尺寸：4英寸，6英寸，8英寸 

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